產(chǎn)品簡(jiǎn)介：籽晶運動(dòng)裝置是硅單晶生長(cháng)爐的重要組成部分，其功能是實(shí)現籽晶軟軸的旋轉和移動(dòng)，要求具有很高的運行精度、平穩性、安全性。該裝置可配置與各種大型硅單晶爐，也可按用戶(hù)要求設計、制作。

坩堝運動(dòng)裝置是硅單晶生長(cháng)爐的重要組成部分，其功能是實(shí)現坩堝的旋轉和隨動(dòng)，要求具有很高的運行精度、平穩性、安全性。該裝置可配置與各種大型硅單晶爐，也可按用戶(hù)要求設計、制作。

    利用高溫升華法生長(cháng)三代半導體—碳化硅晶體材料，由工控機實(shí)現速度、溫度、爐內壓力等全自動(dòng)控制，配置新型DSP+IGBT結構的高頻感應加熱電源，在可控的局部壓力狀態(tài)下運行。