LJ-PVT70型碳化硅爐

主要技術指標：

 1．高頻加熱功率電源：            10kHz，40KW

 2．最高熔煉溫度：                2300℃

 3．冷爐極限真空度：              2×10-4Pa

 4．爐體尺寸：                    ￠700x1150mm

 5．籽晶桿拉速：                  0.02～5mm/h

 6．籽晶桿快速：                   ～200mm/min

 7．籽晶桿爐內引程：              400mm

 8．坩堝桿升速：                  0.02～5mm/h

 9．坩堝桿快速：                   ～200mm/min

10．坩堝桿轉速：                  0～30rpm

11．坩堝桿爐內行程：              500mm

12．水壓：                        0.15～0.2MPa

13．主機外型尺寸（長×寬×高）：  950×1800×3300mm