LJ-B72型泡生法單晶爐

LJ-B72型單晶爐

技術指標

1.電源：                          三相四線制 50Hz 380 ±10%

2.直流電阻加熱                    72KW（12V、6000A）

3.最高加熱溫度                    2100℃ 控溫分辨率0.1℃

4.冷爐極限真空度：                6.67×10-3Pa

5.充氣壓力：                      0.08 MPa

6.最大裝料量：                    35Kg   

7.主爐室內徑：                      ￠720mm

8.主爐室高度：                     950mm

9.籽晶桿慢速                       0.10～2.50mm/h

10.籽晶桿快速                     120mm/min(手動+電動)

11.籽晶桿轉速                     1～8rpm

    12.籽晶桿行程                     350mm

控制系統具有以下功能：

1、籽晶桿快、慢速運動控制，籽晶桿電子手輪慢速運動控制；
2、籽晶桿旋轉電機無級調速控制、緩啟動、停止控制；
3、籽晶桿上下位置相對保護；
4、籽晶桿上下位移絕對或相對位置記錄和設置；
5、系統水壓、真空、溫度、位置等各種狀態檢測和報警；
6、功率電源欠水壓保護、欠真空保護；
7、系統溫度自動控制；
8、系統真空度監測、調節；
9、系統信息自動記錄（加熱功率、晶體重量、生長率等）；
10、系統參數設置和保存；
11、運新環境Win/xp。