主要技術指標
1.晶體生長速度范圍: 0.01~100mm/h
2.滑座快速升降范圍: 可采用電子手脈觸發器或者按鈕開關點動(~100mm/min)
3.晶體旋轉速度范圍: 1~100r/min
4.籽晶桿在爐內有效行程: >=400mm
5.籽晶桿低速爬行: <0.001mm